Departmental Bulletin Paper 高感度炎センサの実現に向けた酸化ガリウム結晶薄膜の作製
GROWTH OF GALLIUM OXIDE THIN FILMS FOR HIGH-SENSITIVE FRAME SENSORS

宇野, 和行

Description
炎は,成層圏にあるオゾン層でカットされて地上に届いていない波長250nm以下のソーラーブラインド光をわずかに発している.この光を高感度に検出すれば,昼夜の区別なく火災が生じているかどうかをリモートセンシングで検出することができる.紫外光である波長250nmの光の検出に適した材料に酸化ガリウム(Ga2O3)がある.酸化ガリウムは禁制帯幅が大きな半導体であるため,光学フィルタなしで250nm以下の波長の光だけを検出することができる.センサとするためには高品質な酸化ガリウム薄膜が必要であるが,今回,独自の原料を用い,α型酸化ガリウムでトップクラスの品質である,ロッキングカーブ半値幅43秒の薄膜の作製に成功した.
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http://repository.center.wakayama-u.ac.jp/files/public/0/3379/20180820134801648065/AA12781991.2.55.pdf

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