Presentation 増反射膜付加高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の最適設計

小池, 雅人  ,  羽多野, 忠  ,  ピロジコフ, アレキサンダー  ,  寺内, 正己  ,  西原, 弘晃  ,  笹井, 裕行  ,  長野, 哲也

2018-10-26
Description
Ni表面の上にランタン(La)の増反射膜と炭素(C)の保護膜を付加した回折格子を例にとり、B-K発光(6.76nm)を中心とした波長領域でスペクトル光量( = 回折効率×cosα)を最大化するために回折格子溝の形状, 増反射膜の膜厚,入射角等を最適化する系統的な設計法について述べる。現在広く使用されているNi表面の回折格子の場合と比較して、増反射膜の付加による高効率化と低入射角化により約6.6倍のスペクトル光量の増加が見込まれる結果を得た。 
第54回X線分析討論会

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