Presentation 量研・関西研における軟X線レーザーのビーム強度モニタ技術と偏光制御技術

今園, 孝志

2018-06-16
Description
量研・関西研では、波長13.9 nmのピコ秒パルス幅のコヒーレント光源であるレーザー駆動プラズマX線レーザー(XRL)を提供し、その特徴を活用した干渉計測等が行われている。そのビーム強度はショット毎に大きく変動するためビーム強度モニタ技術が不可欠である。当該波長領域ではMo/Si多層膜が高効率な反射鏡として機能することが良く知られている。我々は、Mo/Si多層膜をX線フォトダイオードの受光面に直接積層したビーム強度モニタを開発し、XRLをプローブ光とする絶対反射率計測技術を確立するとともに、その応用研究としてMo/Si多層膜偏光子でXRLの偏光状態を制御し、直線偏光度を定量評価できることを明らかにした。また、最近、オーバーコーティングによる回折効率の高効率化を図ったMo回折格子ビーム強度モニタを開発し、それを用いた絶対反射率計測や偏光計測に成功した。講演では、量研・関西研におけるこれらのビーム強度モニタ技術と偏光制御技術について報告する。
平成30年度立命館大学SRセンター研究成果報告会

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