会議発表用資料 オーバーコート軟X線回折格子の光学特性評価

西原弘晃  ,  笹井浩行  ,  長野哲也  ,  今園, 孝志

2018-05-09
内容記述
軟X線レプリカ回折格子に多層膜をオーバーコートすることで利用帯域を拡張できる。ところが、回折格子の使用にあたって実施される測定真空槽のベーキング(60℃程度)によって表面が劣化(多層膜構造は健全だが、格子溝を形成している樹脂が著しく変形)することが明らかになった。このような劣化は単層膜レプリカ回折格子では見られず、多層膜レプリカ回折格子特有であることから、多層膜レプリカ回折格子の耐熱性向上が求められる。本研究では、高いガラス転移温度を持つ樹脂で製作したレプリカ回折格子にW/B4C多層膜を成膜した多層膜レプリカ回折格子を試作し、熱負荷試験を行った。その結果、格子溝および多層膜構造は良好に維持され、回折効率の低下(変化率)は3%以下であった。これは、従前の耐熱温度に比して30℃程度向上したことを示唆している。
光・量子ビーム科学合同シンポジウム(OPTO2018)

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