Journal Article Spectral characterisation of aperiodic normal incidence Sb/B4C multilayer mirrors for the λ < 124 Å range

A. Vishnyakov, E.  ,  A. Kopylets, I.  ,  V. Kondratenko, V.  ,  O. Kolesnikov, A.  ,  ピロジコフ, アレキサンダー  ,  N. Ragozin, E.  ,  N. Shatokhin, A.

48 ( 3 )  , pp.189 - 196 , 2018-03
Description
Измерены спектры отражения трёх широкополосных апериодических многослойных зеркал на основе пары Sb/B4C для мягкой рентгеновской оптики и спектроскопии в области длин волн за L-краем Si (λ < 124 Å). Синтезированные многослойные структуры были оптимизированы на максимальное равномерное отражение в диапазонах длин волн 100–120 Å, 95–105 Å и 90–100 Å. Спектры отражения синтезированных зеркал зарегистрированы с использованием лабораторного лазерно-плазменного источника излучения в схеме с регистрацией сигнала электронным детектором с двухкоординатным пространственным разрешением (ПЗС-матрицей с размером ячейки 13 × 13 мкм). Экспериментальные спектры сравниваются с результатами теоретических расчётов. Обсуждается влияние уменьшенных относительно табличных значений плотностей слоёв сурьмы и B4C на спектры отражения зеркал.

Number of accesses :  

Other information