Presentation Modeling of emission of particle debris from ablation of the tin target for the laser produced plasma extreme ultra-violet light source

佐々木, 明

2018-03-01
Description
レーザー励起プラズマEUV光源において、レーザー照射されたターゲットから発生するデブリの挙動を再現するために開発したラグランジ流体シミュレーションの計算手法、メッシュの動的再配置の方法、および相転移モデルと組み合わせて粒子や気泡のダイナミクスを計算する手法について議論した。
SPIE Advanced Lithography

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