会議発表用資料 電子顕微鏡用軟X線発光分光器(SXES)の開発と実用化

小池, 雅人  ,  寺内, 正己  ,  羽多野, 忠  ,  高橋, 秀之  ,  能登谷, 智史  ,  高橋, 優  ,  村野, 孝訓  ,  小枝, 勝  ,  長野, 哲也  ,  笹井, 浩行  ,  西原, 弘晃

2018-02-23
内容記述
 半導体デバイスや新機能材料等の評価・開発に必要な高い空間分解能を有する電子顕微鏡を用いると、局所の構造・組成を明らかにできるが、物質機能を支配する結合状態を直接計測する手法がなかった。一方、放射光施設では軟X線発光分光により結合状態分析が可能であるが、高い空間分解能の顕微鏡機能がなかった。本開発では、電子顕微鏡技術と新たに開発した軟X線ホログラフィック回折格子を用いた発光分光技術を融合し、世界で初めて小型で高分解能な電子顕微鏡用軟X線分析システムの商品化に成功した。本開発により、半導体X線分析装置の100倍、分光結晶を用いたX線分析装置の10倍のエネルギー分解能を達成。また、パラレル検出方式の採用により、結晶分光器の10 ~100倍の検出効率上を実現。微少領域の化学結合状態分析が可能であること実証した。 本成果は、材料開発現場でのオンデマンド分析と材料創製⇔分析のフィードバックサイクルの短縮を可能とし、リチウム2次電池や超高張力鋼板(超ハイテン)などの高機能鋼な高付加価値工業製品の開発促進に寄与している。
用物理学会関西支部 平成29年度第3回 講演会「応用物理研究からビジネスへ」

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