会議発表用資料 酸化物膜を付加した高回折効率 軟X線ラミナー型回折格子の評価

小池, 雅人  ,  羽多野, 忠  ,  ピロジコフ, アレキサンダー  ,  寺内, 正己  ,  西原, 弘晃  ,  西原, 弘晃  ,  笹井, 浩行  ,  長野, 哲也

2018-01-08
内容記述
最近電子顕微鏡と組み合わせた軟X線回折格子分光器による局所領域からの発光ペクトル計測による状態分析が注目されている。特に高機能鉄鋼材料分析ではボロンのB-K発光(波長:6.76 nm、エネルギー:183.3 eV)のppmレベルでの高感度計測が望まれている。そこで、回折効率の向上を計るため従来のNi膜表面のラミナー型回折格子にTiO2又はCeO2の 酸化物膜を付加した試料を作製し、KEK PF-11Dで回折効率の角度依存、波長依存特性の測定を行ったのでその結果について報告する。
第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム

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