会議発表用資料 Modeling of Particle Debris from the Target of Laser Produced Plasma EUV Sources

佐々木, 明

2017-11-08
内容記述
"Modeling of Particle Debris from the Target of Laser Produced Plasma EUV Sources"の題名で口頭発表を行うとともに、EUV光源のプラズマ流体力学、原子過程の物理の研究者や、レーザー、光学、加速器などの技術者との情報交換を行う。
2017 Source workshop

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