会議発表用資料 陽子線照射された単結晶CVDダイヤモンドの欠陥評価

佐藤, 真一郎  ,  梅沢, 仁  ,  杢野, 由明  ,  大島, 武

2017-11-21
内容記述
CVDダイヤモンド薄膜は、高エネルギー粒子線検出器材料への応用が期待されているが、放射線誘起欠陥やネイティブ欠陥が電気特性に及ぼす影響は明らかになっていない。ホウ素ドープ(p型)および半絶縁性CVDダイヤモンドに1 MeV陽子線を最大1×1013 cm-2照射し、DLTS法およびα線誘起過渡電荷分光(QTS)法を用いて欠陥準位の同定を行った。p型CVDダイヤモンドのDLTS測定から、ネイティブ欠陥として0.6 eV、1.3 eVのアクセプタ準位がそれぞれ6×1013 cm-3、5×1014 cm-3観測された。当日はQTS、電流・電圧特性、容量・電圧特性の結果も交えて欠陥準位の影響を議論する。
第31回ダイヤモンドシンポジウム

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