Presentation 広帯域多層膜回折格子を搭載したテンダーX線分光器の結像特性

今園, 孝志

2017-11-29
Description
デバイス機能の本質を理解するために、近年、テンダーX線(概ね1~5 keV領域)でのオペランド分光計測が進展してきた。回折格子は反射膜(Au)の吸収により著しく回折効率が低下するため、当該領域での利用は一般に困難とされる。反射膜を多層膜化することで高効率化できるが、一定入射角での分光範囲は狭くなる。もし、テンダーX線で広帯域多層膜回折格子を開発できれば、波長掃印することなくオペランド計測を実現できる。本研究では、非周期Ni/C多層膜を適用した多層膜回折格子を考案し、回折効率の広帯域化を実験的に確かめるとともに、テンダーX線領域の特性X線の線幅計測から分解能を評価したので報告する。
第14回X線結像光学シンポジウム

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