会議発表用資料 広帯域多層膜回折格子を用いたテンダーX線平面結像型分光器の性能評価

今園, 孝志

2017-10-26
内容記述
1~3.5 keV領域のテンダーX線に対して一様に高い回折効率を示す広帯域Ni/C多層膜回折格子を搭載した平面結像型分光器を開発し、電子線励起した固体ターゲット(Mg、Al、Si等)からの特性X線を計測してその結像特性を評価した。本講演では、テンダーX線分光器の特徴の他、単元素物質だけでなくZnS、ITO、CIGS薄膜太陽電池等の化合物から発せられる1~3.5 keV領域の発光分光計測の結果についても報告する。
第53回X線分析討論会

このアイテムのアクセス数:  回

その他の情報