会議発表用資料 広帯域多層膜回折格子によるテンダーX線平面結像型分光器

今園, 孝志

2017-09-06
内容記述
1~3.5 keV領域を広帯域にカバーする非周期Ni/C多層膜回折格子を搭載したテンダーX線平面結像型分光器を開発した。Ag、Pt、SUS304、ITO等からの特性X線を計測した結果、その分解能は市販のエネルギー分散型検出器より数倍程度高いことが示された。
第78回応用物理学会 秋季学術講演会参加

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