会議発表用資料 EUV光源ターゲットのアブレーションによる粒子発生のモデル構築

佐々木, 明  ,  佐々木, 明  ,  砂原, 淳  ,  西原, 功修

2017-09-05
内容記述
EUV光源ターゲットのレーザーアブレーションにおける粒子生成の流体シミュレーションについて述べる。ラグランジ流体シミュレーションにメッシュの動的再配置を組み込んで粒子や気泡の生成ダイナミクスを計算できるようにし、レーザーによる加熱や衝撃波による粒子発生の条件について考察した結果を述べる。
応用物理学会秋季学術講演会

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