Presentation 広帯域多層膜光学素子によるkeV領域軟X線発光分光計測技術

今園, 孝志

2016-12-08
Description
1~3.5keV領域の軟X線発光分光計測技術を確立するために、その要素技術である非周期Ni/C多層膜を利用した多層膜光学素子(多層膜回折格子、トロイダル集光鏡)を製作し、光学性能(回折効率、反射率、分光特性等)を評価した。従来のAu回折格子や等周期多層膜鏡に比べ、回折効率、反射率の高効率化・広帯域化を放射光実験により確かめた。また、平面結像型斜入射分光器に多層膜光学素子を搭載し、特性X線(Pt-M線、Ag-L線等)を用いてその分光特性を確かめ、keV領域軟X線発光分光計測に広帯域多層膜光学素子が有効であることが分かった。
2016年度QST量子ビーム科学研究交流会

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