Article Encyclopedia of Semiconductor Nanotechnology, Volume 4, Chapter 2, Molecular-beam controlled chemical reactions on Si surfaces

Okada, Michio  ,  寺岡, 有殿

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超音速分子線と配向分子線を用いたシリコンの表面反応について、分子線の原理、実験方法、結果と考察を詳しく解説した。

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