会議発表用資料 小型イオンマイクロビーム装置用PIGイオン源の開発

石井, 保行  ,  大久保, 猛  ,  三宅, 善信

2017-03-17
内容記述
産業界等への普及を目指した300keV小型イオンマイクロビ-ム装置を開発している。本装置への搭載が可能な高輝度ビームの発生と小型・省電力を両立するイオン源の開発を目的に、電磁石による磁気回路の工夫で、小空間(1.5mmΦ×1mm程度)に調節可能な強磁場により閉込めた高密度プラズマを発生し、ここからイオンビームを引き出す電磁石型PIGイオン源(サイズ:10cmΦ×10cm、目標消費電力、ビ-ム電流及び輝度:20W以下、10μA以上及び5A/(m2srV)以上)を試作した。その性能を評価した結果、10Wの消費電力で、0.5T程度の磁場により、水素イオンビーム18μA及び輝度80A/(m2srV)を発生したことで、ほぼ目標の性能を達成し、目的のイオン源の開発に目処を立てることができた。
第64回応用物理学会春季学術講演会

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