Presentation 集束陽子線描画を用いたナノ材料応用への検討

澁谷, 泰一  ,  金子, 優斗  ,  林, 秀臣  ,  西川, 宏之  ,  石井, 保行  ,  佐藤, 隆博

2017-01-27
Description
イオンマイクロビームを用いた微細加工技術(Proton Beam Wrinting : PBW)の利用の一環として、単一の材料では得られない性質の発現が期待されるナノコンポジット材料を用いたPBWによる構造体の作製を行っている。今回、屈折率を高めることで光の透過効率を向上させることを目的として、光学材料であるPDMSに高屈折率を誘発するTiO2のナノ粒子(粒径21nm)を1%添加したナノコンポジット材料に、PBW(ビームエネルギー:1.0MeV、ビーム径:1μm、ビーム電流:30pA)により光導波路を作成し、屈折率の変化を調べた。その結果、屈折率は照射量30nC/mm2で最大(同照射量のPDMS単体に比べて0.33%増加)となり、透過効率の向上が期待される値を得ることができた。
第1回QST高崎研シンポジウム

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