Presentation 実験室でのイオンマイクロビーム利用の実現を目指して

石井, 保行

2017-01-26
Description
数100keVから数MeVのイオンマイクロビームは、生物細胞内の二次元微量元素分布可視化やレジスト材の三次元微細加工等に利用され、有効性が認められている。しかし、このビームの形成には全長30m程度の大型装置が必要であることが障害となり、普及が進んでいない。このため、加速・集束が同時にでき、大学の実験室や工場、病院等に設置できる小型装置の開発を進めている。具体的には、高縮小率を有する3段加速レンズ及びこれに適したプラズマ型のイオン源を開発し、これらを組合わせた300keV小型イオンマイクロビーム装置(全長:約1m、目標ビーム径:1μm)を構築した。これまでに120keVの水素イオンビームで2.8μm径を形成し、更にイオン源からのビームの発散角を小さくすることにより目標径を達成できる見通しが得られた。今後、目標ビーム径を達成するとともに、更に実用性の高い1MeV装置の開発を目指す。
放射線利用フォーラム2017 in 高崎

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