Presentation レーザー駆動プラズマX線レーザー強度モニタ用 Mo/Si多層膜コートフォトダイオード検出器の試作

今園, 孝志

2017-01-08
Description
本研究では、軟X線用シリコンフォトダイオード検出器(IRD社AXUV100G)のアクティブ領域にイオンビームスパッタ法でMo/Si多層膜鏡を積層した多層膜フォトダイオード検出器(MPD)のプロトタイプを試作した。放射光及びレーザー駆動プラズマX線レーザー光源(波長13.9 nm)を用いた反射率及び透過率測定の結果、MPDは高効率反射鏡として機能するとともに、その反射率と透過率の間には強い正の相関が認められた。MPDはショット毎に変動するX線レーザーのビーム強度モニタとして十分な性能を有し、X線レーザーによる軟X線加工技術に不可欠な1パルスあたりの光子数の高精度計測に有効であることが分かった。
第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム

Number of accesses :  

Other information