Presentation EUVレーザーによる多層膜反射鏡の照射損傷評価

石野, 雅彦  ,  錦野, 将元

2016-11-24
Description
極端紫外線(EUV)リソグラフィ装置で用いる多層膜反射鏡の高強度EUV照射に対する耐性評価を目的とした照射損傷試験を行った。EUVレーザーを多層膜試料に照射し、損傷構造が確認できる最小のフルーエンスから照射に対する耐性を評価した。その結果、Nb/Si多層膜が従来のMo/Si多層膜に比べて高い照射耐性を有することを見出した。
光・量子ビーム科学合同シンポジウム

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