Presentation 荷電粒子誘起発光多波長同時分析・イメージングを目的としたフォトンカウンティング型分光器の開発

加田, 渉  ,  川端, 駿介  ,  佐藤, 隆博  ,  江夏, 昌志  ,  山田, 尚人  ,  三浦, 健太  ,  花泉, 修  ,  神谷, 富裕

2016-11-10
Description
試料の化学組成を分析できるイオンビーム誘起発光(IBIL)の計測には、光電子増倍管(PMT)や、可視光領域回折格子とCCDによる分光器が利用されてきたが、測定効率向上のために複数の発光波長を同時計測するには、PMTには分光機能がなく、CCDは応答速度が遅いという問題点があった。そこで本研究では、IBILの複数波長同時計測を目的に、CCDに替えて32チャネルPMTアレイと可視光領域回折格子との組み合わせを用いることで、波長320〜750 nmを分解能約14 nmで測定可能な、高速波長分散型IBIL解析システムを開発した。その結果、TIARAの水素イオンマイクロビームを用いて、シリコン及びケイ酸塩化合物の化学組成を同時マッピングすることに成功した。
第32回PIXEシンンポジウム

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