会議発表用資料 PIXEトモグラフィ分析システムの開発

佐藤, 隆博  ,  山田, 尚人  ,  横山, 彰人  ,  大久保, 猛  ,  石井, 保行

2016-11-09
内容記述
PIXEトモグラフィ分析システムでは、微小試料を様々な角度で測定する必要が有るため、ポリイミドチューブの先端に試料を接着していたが、作製が困難であることが問題であった。このため、接着剤を薄く塗布したカーボンファイバーの中間部に試料を複数個一列に設置する簡便な試料作製法を考案したが、試料の投影像がカーボンファイバーの影響を受けるという難点があった。これを解消するため、PIXE及びSTIMの両トモグラフィを行い、画像再構成を行う際に前者のトモグラフィの投影像について、後者の結果を基にカーボンファイバーの領域を自動で判別し、それぞれの領域毎にビームエネルギーの減弱やX線吸収を補正し画像再構成を行うようにプログラムを改良した。今回の方法を、実際に多孔質シリカ吸着材のPIXEトモグラフィ分析に用いた結果、内部に残留している元素の三次元分布の測定成功し、有用であることがわかった。
第32回PIXEシンポジウム

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