Presentation EUV光源用ターゲットのレーザーアブレーションにおける破砕、微粒子生成のマクロモデルの研究

佐々木, 明

2016-09-14
Description
レーザープラズマEUV光源において、プリパルスレーザー照射によるターゲット物質の分散過程を取り扱うシミュレーションのモデリングについて、ターゲット物質の状態方程式や、粉体としての取り扱いなどの統計物理の視点で議論する。
日本物理学会2016年秋季大会

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