Presentation 小型イオンマイクロビーム装置の引出条件の改良によるビーム径縮小

大久保, 猛  ,  石井, 保行

2016-09-09
Description
実験室に設置可能な数百keV級の小型イオンマイクロビーム装置を開発しており、これまでに120keVでビーム径5.8μmを得た。本装置では、加速と集束を同時に行う加速レンズ系を採用しており、その集束メカニズムのために、より低いエネルギーのビームをレンズ系に入射することで縮小率を向上できる。そこで、更にビーム径を縮小することを目的に、イオン源のビーム引出電場の強さを変えないことで入射ビームの物点径と発散角を保ったままビームエネルギーを低めるために、イオン源のアノード電極と引出電極の間の距離をこれまでの3分の2へと短くした。その結果、ビーム径が1.8μmへと縮小した。
日本原子力学会2016年秋の大会

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