会議発表用資料 第8回役に立つ真空技術入門講座

寺岡, 有殿

2016-08-25
内容記述
高真空を必要とする理由、高真空を用いた機器(荷電粒子ビーム応用機器、加速器、プラズマ応用機器、表面分析機器)について広く紹介する。
第8回役に立つ真空技術入門講座

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