会議発表用資料 PF BL-11Dにおける5-10 nm領域の回折格子の回折効率評価

羽多野, 忠  ,  小池, 雅人  ,  浮田, 龍一  ,  笹井, 浩行

2016-09-13
内容記述
極端紫外・軟X線領域の光学素子評価ビームライン(PF BL-11D)で軟X線ラミナーレプリカ回折格子 (Niコート)の回折効率評価実験を行った。回折格子の刻線密度は1200本/mmである。入射角が設計値の87.07°となるように回折格子を固定し,検出器を回転駆動して0~4次の回折光を検出した。波長10 nm と波長5nmでの回折効率の比較により波長10 nm における2次光の混入率を求めることができ,0.55%という十分低い値を得た。同様にしてB-K発光の波長6.76nmにて2.88%を得た。多層膜ミラー反射率計測により波長4.4nmにおける2次光混入率が8%ということもわかっている[羽多野他,第75回応用物理学会秋季学術講演会19p-A13-12(2014)]。これらの情報を用いて実測値を分光器2次光の影響を除去した値に換算した。その値は計算値より0.01低く,~1nmの表面粗さを考慮するとよく一致した。次に波長6.76nmの回折効率の入射角依存性を調べた。その結果低入射角側の82.9°で回折効率が最大になり、この場合分光器としての感度は従来設計に比較して3倍近い向上が期待できることが判った。
第77回応用物理学会秋季学術講演会

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