会議発表用資料 Chemical States Analysis of Trace-boron by using an Improved SEM-SXES

寺内, 正己  ,  高橋, 秀之  ,  高倉, 優  ,  村野, 孝訓  ,  小池, 雅人  ,  今園, 孝志  ,  長野, 哲也  ,  笹井, 浩行

2016-07-27
内容記述
マイクロチャンネルプレート(MCP)検出器とCMOSカメラと組み合わせた軟X線発光分光(SXES)-SEM装置を試作し、バルク試料の分析に適用した。MCPのチャンネルピッチを従来の15mmから7.5mmに改良することによりAl-L発光で0.13eVのエネルギー分解能を得た。バルク試料のAl-L発光スペクトルでは小さなL2端(フェルミ準位(EF)→L2殻)と大きなL3端(EF→L3殻)が明瞭に分離し、フェルミ分布関数の熱広がりを考慮するとエネルギー分解は0.08eVである。エネルギー分解は向上したが、アナログ積分モードに比べて、光子計数モードで良好な信号対雑音比を得ようとすると、より長い取得時間を要する。以下での微量ホウ素分析ではアナログ積分モードを用いており、残念ながら、エネルギー分解能は、光子計数モードのそれよりも数倍低い。B,P,Cの平均組成が45、53、41 ppm(wt.%)の炭素鋼の5か所の様々な析出物の位置での発光スペクトルを観測した。強いB-Kピークと共にO-K、N-K強度が強く観測された位置では窒化ボロン(B-N)、酸化ボロン(B-O)化合物の存在が示唆される。
Microscopy & Microanalysis 2016 Meeting(M&M2016)

このアイテムのアクセス数:  回

その他の情報