Presentation SEM-SXESによる微量ボロンの化学状態分析

寺内正己  ,  高橋秀之  ,  高倉, 優  ,  村野孝訓  ,  小池, 雅人  ,  今園, 孝志  ,  長野, 哲也  ,  笹井, 浩行

2016-06-14
Description
検出器として MCP+CMOSを搭載したSEM-SXES(軟X線発光分光)装置を用い微量ボロン(B)の検出実験を行った。試料はB,P,Cの平均組成が45、53、41 ppm(wt.%)の炭素鋼であり、5か所の様々な領域のスペクトルを観察した。測定条件は、加速電圧5kV、電流量170nA、積算時間5分であった。SEM観察からBの析出物を含むと判断された領域ではB-Kの信号が観測された。その反対に存在しないとされた領域では観察されなかった。また、析出物ごとにO-K(2次光)、C-K、N-K、B-K、S-Kの強度分布が異なることが分かった。強いB-Kピークと共にO-K、N-K強度が強く観測された領域ではB-N、B-Oの化合物の存在が示唆される。Ni表面に高密度のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)薄膜を付加した新型高効率回折格子を用いてBの組成が10ppmの炭素鋼試料でのB検出に成功した。
日本顕微鏡学会第72回学術講演会(JSM2016)

Number of accesses :  

Other information