会議発表用資料 電子顕微鏡用軟X線分光器の開発と実用化

小池雅人  ,  河内哲哉  ,  今園孝志  ,  長谷川登  ,  小枝勝  ,  長野哲也  ,  笹井浩行  ,  寺内正己  ,  高橋秀之  ,  能登谷智史  ,  村野孝訓

2016-06-11
内容記述
 近年の、微細化するデバイス等の材料評価やナノスケールの新機能材料開発のため、特定の半導体界面部位や複数の物質が混在するなかで特定の物質の結晶構造を解明するだけでなく、組成や電子状態を同時に調べられる解析手法が強く望まれている。電子顕微鏡は、試料の中から特定の領域を選び出し、電子回折図形や格子像観察からその領域の構造を評価することができる。また、X線分析により元素分析も行える。さらには、電子エネルギー損失分光法(Electron energy-loss spectroscopy: EELS)を用いることにより、電子状態に関する知見を得ることができる。しかしながら、光電子分光法のように、物性を支配している価電子(結合電子)のエネルギー状態を直接計測することができない。本研究開発では、電子顕微鏡に搭載可能なコンパクト・高分解能な軟X線発光分光器を世界で初めて開発・実用化し、電子顕微鏡で同定した微少領域から価電子のエネルギー状態を分析可能とし、商品化に至った。この新たな顕微分析技術の実用化は、我が国の新機能材料開発における解析・評価に大きく貢献するとともに経済社会の発展に大きく資すると考えられる。
平成28年度(立命館大学)SRセンター成果報告会

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