Presentation 電子顕微鏡用軟 X線分光器の開発と実用化

小池, 雅人  ,  寺内正己  ,  高橋秀之

2016-05-26
Description
電子顕微鏡を用いた元素分析、構造解析、状態分析などの目的でエネ ルギー分散形分光器(EDS)、波長分散形分光器(WDS)など多くの分光器 が開発されてきた。しかしながら、リチウム等の軽元素の分析に必要な軟 X線領域において実用的な電子顕微鏡用分光器は存在しなかった。そこで、不等間隔溝収差補正型回折格子と高感度X線CCDカメラを組み合わせることにより、高エネルギー分解能を実現する電子顕微鏡用軟X線分光器システムを開発した。この装置の特長はEDS同様にパラレル検出可能で、かつWDSが持つエネルギー分解能を超える0.3eV (Fermi端 Al-L基準) の高エネルギー分解能分析が 50eV~4keVの広いエネルギー領域で可能である等である。この分光器システムでは回折格子や検出器(CCD)を動かさずに広いエネルギー領域のスペ クトルを同時に測定できる。しかも高エネルギー分解能であるので、状態分析マップの収集が可能である。この装置のボロンを含む核燃料デブリ分析、リチウムイオン電池開発、先端合金開発等への応用について紹介する。
平成 28年度日本分光学会国際シンポジウム・年次講演会

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