Thesis or Dissertation 高誘電率Ta2O5膜のシリコン半導体メモリ用容量絶縁膜への適用に関する研究

神力,博

2016-11-28
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http://repository.nihon-u.ac.jp/xmlui/bitstream/11263/1126/1/Shinriki-Hiroshi-1.pdf

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