Technical Report 軽イオンマイクロビーム分析/加工システムの改良

江夏 昌志  ,  石井 保行  ,  山田 尚人  ,  大久保 猛  ,  加田 渉  ,  喜多村 茜  ,  岩田 吉弘  ,  神谷 富裕  ,  佐藤 隆博

pp.1 - 41 , 2016-03 , JAEA
Description
日本原子力研究開発機構原子力科学研究部門高崎量子応用研究所のイオン照射研究施設では、これまでに、3MVシングルエンド加速器におけるMeV級軽イオンマイクロビームによる高空間分解能な局所元素分析・加工システムの開発を行ってきた。ここでは、加速器、ビーム輸送ライン及びマイクロビーム形成装置などの主構成機器に加えて、マイクロPIXE/PIGE(Particle Induced X-ray/Gamma-ray Emission)分析、三次元元素分布分析(PIXE-CT: Computed Tomography)、イオン誘起発光分析(IBIL: Ion Beam Induced Luminescence)及び微細加工(PBW: Proton Beam Writing)への応用研究に用いるための付帯装置・治具類に関する技術的な改良について、これらの機器・装置等の概要とともに纏める。
著者所属: 日本原子力研究開発機構(JAEA)
Full-Text

http://jolissrch-inter.tokai-sc.jaea.go.jp/pdfdata/JAEA-Technology-2016-006.pdf

Number of accesses :  

Other information