紀要論文 大気圧プラズマ窒化処理への真空パージ法の導入
Introduction of Vacuum Purging System to Atmospheric-Pressure Plasma Nitriding
タイキアツ プラズマ チッカ ショリ ヘノ シンクウ パージホウ ノ ドウニュウ

市來, 龍大  ,  中谷, 達行  ,  金澤, 誠司  ,  Ryuta, Ichiki  ,  Tatsuyuki, Nakatani  ,  Seiji, Kanazawa  ,  大分大学理工学部創生工学科電気電子コース  ,  岡山理科大学技術科学研究所  ,  大分大学理工学部創生工学科電気電子コース  ,  Division of Electrical and Electronic Engineering, Oita University  ,  Research Institute of Technology, Okayama University of Science  ,  Division of Electrical and Electronic Engineering, Oita University

53pp.69 - 73 , 2018-02
NII書誌ID(NCID):AN00033244
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