その他 固体表面を利用した高速イオンの集束・偏向技術の開発

本橋, 健次

pp.68 - 68 , 2017-08-31 , 学校法人東洋大学産官学連携センター
内容記述
固体表面を使って高エネルギーイオンの集束や偏向を簡便に実現するための方法を提案し,実証実験を行っています.イオンビームを用いた様々な機器を小型化・省電力化する新しい技術として期待されます.
①イオンビーム軌道制御装置(特許第5550042 号)
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