Conference Paper A Study on control of curvature of multilayer by sputter deposition

Nakamura, Takuma  ,  Kobayashi, Nobuyuki  ,  Mori, Osamu  ,  Shirasawa, Yoji  ,  Kikuchi, Junji  ,  Teramoto, Yuki  ,  中村, 琢磨  ,  小林, 信之  ,  森, 治  ,  白澤, 洋次  ,  菊池, 隼仁  ,  寺元, 祐貴

pp.105 - 108 , 2015-07 , Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency(JAXA)(ISAS) , 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)(ISAS)
Description
Meeting Information: The 25th Workshop on JAXA Astrodynamics and Flight Mechanics 2015 (July 27-28, 2015. Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA)(ISAS)), Sagamihara, Kanagawa Japan
会議情報: 第25回アストロダイナミクスシンポジウム (2015年7月27-28日. 宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所), 相模原市, 神奈川県

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