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Fabrication of Transparent Conductive Oxide Thin Films in the In-Ga-Zn-O and In-Sn-Zn-O Systems by Facing-Target DC-sputtering TechniqueFabrication of Transparent Conductive Oxide Thin Films in the In-Ga-Zn-O and In-Sn-Zn-O Systems by Facing-Target DC-sputtering Technique 対向ターゲット式DCスパッタリング法によるIn-Ga-Zn-OおよびIn-Sn-Zn-O系透明導電性酸化物薄膜の作製

"/Wang, Xinzhi/"Wang, Xinzhi

http://repo.lib.tokushima-u.ac.jp/files/public/11/110939/20171130112624627393/k3110_abstract.pdf

http://repo.lib.tokushima-u.ac.jp/files/public/11/110939/20171130112624988029/k3110_review.pdf

http://repo.lib.tokushima-u.ac.jp/files/public/11/110939/20171130112625294466/k3110_fulltext.pdf

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