Departmental Bulletin Paper RFマグネトロンスパッタ法によるAZO透明導電膜の結晶性に及ぼす基板温度の影響--材料分析室利用研究成果、そのXXVI (4)--

後藤 みき  ,  小松 茂禎  ,  御園生 誠  ,  Goto, Miki  ,  Komatsu, Shigeyoshi  ,  Misonoo, Makoto

B ( 40 )  , pp.61 - 63 , 2016-03-20 , 神奈川工科大学
ISSN:21882878
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