Departmental Bulletin Paper 高周波マグネトロンスパッタリングにより室温で堆積したAZO薄膜の微細構造と電気的・光学的特性の膜厚依存性
Thickness Dependence of Microstructures and Electrical and Optical Properties of AZO Thin Films Deposited at Room Temperature by RF Magnetron Sputtering

清水, 秀己  ,  大塚, 一毅

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