Thesis or Dissertation 3次元実装のためのCu-TSV抵抗率と微細構造に関する研究

佐藤, 明  ,  SATO, Akira  ,  SATOH, Akira

2017-03-23 , 茨城大学理工学研究科 , イバラキ ダイガク リコウガク ケンキュウカ , Graduate School of Science and Engineering, Ibaraki University
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http://ir.lib.ibaraki.ac.jp/bitstream/10109/13185/1/12101A597-1.pdf

http://ir.lib.ibaraki.ac.jp/bitstream/10109/13185/3/12101A597.pdf

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