紀要論文 Si平坦化工程を用いたMOSFETにおけるストレス誘起ゲートリーク電流の統計的解析に関する研究

パク, ヒョンウ

86 ( 1 )  , pp.206 - 207 , 2017-08 , 東北大学電気通信研究所
ISSN:0385-7719
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