Departmental Bulletin Paper プラズマ損傷の低減によるGaN系高電子移動度トランジスタの高性能化に関する研究

邉見, ふゆみ

86 ( 1 )  , pp.128 - 129 , 2017-08 , 東北大学電気通信研究所
ISSN:0385-7719
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