Departmental Bulletin Paper Si-Ge系ECRプラズマCVDにおける基板非加熱エピタキシャル成長と電子物性制御に関する研究

上野, 尚文

86 ( 1 )  , pp.14 - 17 , 2017-08 , 東北大学電気通信研究所
ISSN:0385-7719
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