学位論文 光電子制御プラズマCVDプロセスによるLSI配線用ナノグラファイトの研究

尾白, 佳大

2016-03-25
内容記述
要約のみ
Tohoku University
博士
博士(工学)
11301甲第16958号
高桑雄二
本文を読む

http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/64385/1/160325-Ojiro-5174-0.pdf

このアイテムのアクセス数:  回

その他の情報