Thesis or Dissertation 化学気相析出法による炭化ケイ素膜の高速合成と微細構造

韓, 明旭

2016-03-25
Description
要約のみ
Tohoku University
博士
博士(工学)
11301甲第17022号
後藤孝
Full-Text

http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/64356/1/160325-HAN-5238-0.pdf

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