Others 半導体デバイスにおける表面化学反応制御による機能性薄膜形成に関する研究

菊地, 良幸

(59) 2015-03-25
Description
Tohoku University
博士
工学
工博第5044号
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http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/62711/1/T1H265044.pdf

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