その他 半導体デバイスにおける表面化学反応制御による機能性薄膜形成に関する研究

菊地, 良幸

(59) 2015-03-25
内容記述
Tohoku University
博士
工学
工博第5044号
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http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/62711/1/T1H265044.pdf

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