その他 MEMS-based Capacitive Sensor using Silicon Carbide for High Temperature Application

チャンド, ラケース

(59) 2015-03-25
内容記述
Tohoku University
博士
工学
工博第5130号
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http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/62705/1/T1H265130.pdf

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