Thesis or Dissertation LSI配線のRC特性改善に向けた銅配線プロセスインテグレーション技術に関する研究

田上, 政由

2015-03-25
Description
要約のみ
Tohoku University
博士
博士(工学)
11301甲第16423号
小池淳一
Full-Text

http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/60824/1/150325-Tagami-5105-0.pdf

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