学位論文 半導体デバイスにおける表面化学反応制御による機能性薄膜形成に関する研究

菊地, 良幸

2015-03-25
内容記述
要約のみ
Tohoku University
博士
博士(工学)
11301甲第16362号
寒川誠二
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http://ir.library.tohoku.ac.jp/re/bitstream/10097/60821/1/150325-Kikuchi-5044-0.pdf

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